사업분야
여러 가지 다양한 종류의 정전 척을 재생 및 수리하여 공급하고 있습니다.
ENDURA 장비에 사용하는 MCA Heater ESC를 sputter coating 및 overhaul 수리를 하여 공급하고 있습니다.
Lamination공정에 사용하는 정전척의 제조 및 수리 서비스를 제공합니다.
그 외 정전척 신품 공급, AlN Heater 수리, 특수 수리 등의 서비스를 제공하고 있습니다.
