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Process & Repair scope

ESC-OPM

LAM Anodizing Chuck (200mm)

Process Equipment Mode Type Part Number
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094756-082
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094756-081
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-283
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-282
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-281
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-092326-082
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-092326-081
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-092326-066
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-818
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-812
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-811
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-802
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-801

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LAM Anodizing Chuck (150mm)

Process Equipment Mode Type Part Number
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094756-065
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094756-061
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-361
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-265
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-262
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-094523-261
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-092326-065
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-092326-061
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-634
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-632
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-622
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-614
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-612
ETCH TCP 9400/9600 Anodizing 718-043893-602

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ESC-OPM

Varian ESC (200mm)

Process Equipment Mode Type Part Number
IMP Viista Al2O3 Plate E11135020
IMP E-500 Si Rubber E11098654

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